Зеленый порошок карбида кремния (SiC), используемый в полировке полупроводниковых пластин, является ключевым материалом. Он широко используется в процессах точной полировки благодаря своей высокой твердости, превосходной химической стабильности и термической стабильности.
1. Характеристики зеленого карбида кремния
— Высокая твердость (твердость по Моосу 9,2): уступает только алмазу и кубическому нитриду бора, подходит для обработки твердых материалов (таких как кремний, пластины карбида кремния).
—Химическая инертность: не вступает в реакцию с кислотами и щелочами при комнатной температуре, что позволяет избежать загрязнения поверхности пластины.
—Термическая стабильность: сохраняет эксплуатационные характеристики при высоких температурах, подходит для высокоскоростной полировки.
—Острая форма частиц: обеспечивает эффективную режущую способность, но необходимо контролировать однородность частиц, чтобы избежать царапин.
| ТИПИЧНЫЙ ХИМИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ | |
| SiC | ≥99,05% |
| SiO2 | ≤0,20% |
| Ф,Си | ≤0,03% |
| Fe2O3 | ≤0,10% |
| ФК | ≤0,04% |
| ТИПИЧНЫЕ ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА | |
| Твёрдость: | Моос: 9,5 |
| Температура плавления: | Возгоняется при 2600 ℃ |
| Максимальная рабочая температура: | 1900℃ |
| Удельный вес: | 3,20-3,25 г/см3 |
| Насыпная плотность (LPD): | 1,2-1,6 г/см3 |
| Цвет: | Зеленый |
| Форма частиц: | Шестиугольный |
2. Применение при полировке полупроводников
—Этап грубой полировки: используется для удаления крупных дефектов или следов обработки на поверхности пластины (например, поврежденных слоев после резки и шлифовки).
—Полировка пластин из карбида кремния (SiC): зеленый карбид кремния соответствует твердости материалов пластин из SiC, что позволяет уменьшить повреждение поверхности.
—Вспомогательное применение: используется для полировки твердых и хрупких материалов, таких как сапфировые подложки и оптическое стекло.
3. Основные требования к качеству
— распределение размеров частиц: должно быть максимально однородным (например, D50 1–5 мкм), чтобы избежать царапин, вызванных крупными частицами.
—Чистота: высокая чистота (≥99,9%) для снижения загрязнения металлическими примесями (такими как Fe, Al).
— Морфология частиц: должна быть сферической или равновеликой, чтобы уменьшить шероховатость поверхности.
—Суспензия: стабильная дисперсия в полирующей жидкости для предотвращения образования осадка.
Отзывы
Отзывов пока нет.