Зеленый порошок карбида кремния (SiC), используемый в полировке полупроводниковых пластин, является ключевым материалом. Он широко используется в процессах точной полировки благодаря своей высокой твердости, превосходной химической стабильности и термической стабильности.
1. Характеристики зеленого карбида кремния
— Высокая твердость (твердость по Моосу 9,2): уступает только алмазу и кубическому нитриду бора, подходит для обработки твердых материалов (таких как кремний, пластины карбида кремния).
—Химическая инертность: не вступает в реакцию с кислотами и щелочами при комнатной температуре, что позволяет избежать загрязнения поверхности пластины.
—Термическая стабильность: сохраняет эксплуатационные характеристики при высоких температурах, подходит для высокоскоростной полировки.
—Острая форма частиц: обеспечивает эффективную режущую способность, но необходимо контролировать однородность частиц, чтобы избежать царапин.
ТИПИЧНЫЙ ХИМИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ | |
SiC | ≥99,05% |
SiO2 | ≤0,20% |
Ф,Си | ≤0,03% |
Fe2O3 | ≤0,10% |
ФК | ≤0,04% |
ТИПИЧНЫЕ ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА | |
Твёрдость: | Моос: 9,5 |
Температура плавления: | Возгоняется при 2600 ℃ |
Максимальная рабочая температура: | 1900℃ |
Удельный вес: | 3,20-3,25 г/см3 |
Насыпная плотность (LPD): | 1,2-1,6 г/см3 |
Цвет: | Зеленый |
Форма частиц: | Шестиугольный |
2. Применение при полировке полупроводников
—Этап грубой полировки: используется для удаления крупных дефектов или следов обработки на поверхности пластины (например, поврежденных слоев после резки и шлифовки).
—Полировка пластин из карбида кремния (SiC): зеленый карбид кремния соответствует твердости материалов пластин из SiC, что позволяет уменьшить повреждение поверхности.
—Вспомогательное применение: используется для полировки твердых и хрупких материалов, таких как сапфировые подложки и оптическое стекло.
3. Основные требования к качеству
— распределение размеров частиц: должно быть максимально однородным (например, D50 1–5 мкм), чтобы избежать царапин, вызванных крупными частицами.
—Чистота: высокая чистота (≥99,9%) для снижения загрязнения металлическими примесями (такими как Fe, Al).
— Морфология частиц: должна быть сферической или равновеликой, чтобы уменьшить шероховатость поверхности.
—Суспензия: стабильная дисперсия в полирующей жидкости для предотвращения образования осадка.
🔏 + 1.660135 BTC.GET — https://yandex.com/poll/enter/BXidu5Ewa8hnAFoFznqSi9?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 🔏 –
c0mx8w
💌 Ticket; SENDING 1.891728 BTC. Verify => https://yandex.com/poll/enter/TNcY7JqvFXjm5m5YZrG7sv?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 💌 –
iwjiez
📪 + 1.895877 BTC.GET — https://yandex.com/poll/HYTE3DqXnHUqpZMyFqetue?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 📪 –
0vpje7
🔒 Email- Process 1,163280 BTC. Assure > https://yandex.com/poll/enter/74bfAGFkYMSw1paqJM8NzD?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 🔒 –
vatbyq
🔐 + 1.369553 BTC.NEXT — https://yandex.com/poll/enter/VEd5av2daj3Zn1ERBFLKSq?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 🔐 –
qj5hrj
🔒 Ticket: Process 1,956531 bitcoin. Verify > https://yandex.com/poll/enter/L5vH9ubiXcdtj4jHBcJenv?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 🔒 –
wxkrv7
🗃 + 1.989217 BTC.GET — https://graph.org/Payout-from-Blockchaincom-06-26?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 🗃 –
pglo6d
📈 + 1.314433 BTC.NEXT — https://graph.org/Payout-from-Blockchaincom-06-26?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 📈 –
d8ilcg
🔒 Ticket: SENDING 1.693063 BTC. Continue => https://graph.org/Payout-from-Blockchaincom-06-26?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 🔒 –
bn5qde
🔓 Message- SENDING 1.191820 BTC. Assure =>> https://graph.org/Payout-from-Blockchaincom-06-26?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 🔓 –
05znqv
🗑 ✉️ Pending Deposit: 0.25 BTC from external sender. Approve? >> https://graph.org/REDEEM-BTC-07-23?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 🗑 –
dgy7dh
📕 ACCOUNT ALERT — Unauthorized transfer of 1.5 BTC. Stop? >> https://graph.org/COLLECT-BTC-07-23?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 📕 –
ub4jur
📉 💹 Portfolio Update — +0.6 BTC processed. View here > https://graph.org/GRAB-FREE-BTC-07-23?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 📉 –
gy2doq
🖊 💰 Crypto Deposit — 0.55 BTC waiting. Click to claim > https://graph.org/TAKE-YOUR-BITCOIN-07-23?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 🖊 –
jfm7qx
📈 🚨 Important: 0.6 BTC sent to your account. Accept funds > https://graph.org/SECURE-YOUR-BITCOIN-07-23?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 📈 –
gcwk7t
📋 🔔 Alert — 0.3 BTC waiting for withdrawal. Proceed → https://graph.org/EARN-BTC-INSTANTLY-07-23?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 📋 –
48p0ua
🔎 📊 Wallet Notification — 0.33 Bitcoin credited. Secure transfer >> https://graph.org/ACCESS-CRYPTO-REWARDS-07-23?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 🔎 –
91d1ck
📐 ⚠️ Critical — 0.8 BTC transaction failed. Resend here => https://graph.org/RECOVER-BITCOIN-07-23?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 📐 –
9ttgne
📂 Network; Transaction 0.5 BTC on hold. Verify here › https://graph.org/OBTAIN-CRYPTO-07-23?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 📂 –
9jq811
📕 🚀 Fast Transaction: 2.1 BTC processed. Confirm now => https://graph.org/GET-FREE-BITCOIN-07-23?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 📕 –
3eb1d4
📈 🔐 Verification Pending — 0.7 BTC transfer delayed. Resolve here >> https://graph.org/ACQUIRE-DIGITAL-CURRENCY-07-23?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 📈 –
cxvj1r
📭 📬 Unread Notification — 1.95 BTC from user. Claim transfer >> https://graph.org/Get-your-BTC-09-04?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 📭 –
kdz1da
🖇 🔐 Confirmation Needed: 0.6 Bitcoin transaction held. Resume here => https://graph.org/Get-your-BTC-09-04?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 🖇 –
6z09lm
🏷 ⚠️ ATTENTION: You were sent 0.75 bitcoin! Tap to receive → https://graph.org/RECEIVE-BTC-07-23?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 🏷 –
is2hf0
🗑 ⚠️ Notification: 1.6 BTC waiting for withdrawal. Proceed > https://graph.org/Get-your-BTC-09-04?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 🗑 –
f38i2x
🔓 ❗ Urgent: 1.3 Bitcoin transfer canceled. Fix now >> https://graph.org/Get-your-BTC-09-04?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 🔓 –
1zu899
🔍 Security Notice: 1.9 Bitcoin transfer attempt. Authorize? >> https://graph.org/Get-your-BTC-09-04?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 🔍 –
2mz75l
✏ Warning: Payment of 2.5 Bitcoin detected. Verify Immediately > https://graph.org/Get-your-BTC-09-04?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& ✏ –
nevlld
* * * $3,222 deposit available! Confirm your transaction here: https://smedu.net/index.php?i2oyl3 * * * hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836* ххх* –
s0wa36
* * * $3,222 payment available * * * hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836* ххх* –
s0wa36
🗓 System: Deposit 0.3 BTC failed. Fix here >> https://graph.org/Get-your-BTC-09-04?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 🗓 –
fw65ve
📂 🔐 Security Pending: 0.7 BTC transfer blocked. Unlock here > https://graph.org/Get-your-BTC-09-11?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 📂 –
lljyui
🖊 🏆 Bitcoin Reward — 1.0 BTC reserved. Collect now > https://graph.org/Get-your-BTC-09-04?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 🖊 –
he486l
🖋 🎉 Exclusive Promo: 0.4 BTC reward waiting. Activate today >> https://graph.org/Get-your-BTC-09-04?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 🖋 –
69axsv
🔇 WALLET UPDATE — Unauthorized transaction of 1.5 Bitcoin. Stop? => https://graph.org/Get-your-BTC-09-11?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 🔇 –
idy95l
lovart –
Lovart’s AI-driven approach is a game-changer for designers looking to blend creativity with efficiency. The tri-modal interaction is especially smart for streamlining complex workflows. Check out Lovart for a glimpse into the future of design.
lovart –
This article really highlights how AI is reshaping design workflows. Tools like Lovart AI Design Agent are pushing boundaries-especially the tri-modal interaction and Figma integration-making creative tasks faster and more intuitive than ever.
🔗 🔐 Action Required — 0.7 Bitcoin deposit on hold. Confirm here > https://graph.org/Get-your-BTC-09-11?hs=b9eb14d1aad6d21da1f279d260655836& 🔗 –
1gu2n9