Зеленый микропорошок карбида кремния для полировки пластин

Зеленый порошок карбида кремния (SiC), используемый в полировке полупроводниковых пластин, является ключевым материалом. Он широко используется в процессах точной полировки благодаря своей высокой твердости, превосходной химической стабильности и термической стабильности.

1. Характеристики зеленого карбида кремния

— Высокая твердость (твердость по Моосу 9,2): уступает только алмазу и кубическому нитриду бора, подходит для обработки твердых материалов (таких как кремний, пластины карбида кремния).

—Химическая инертность: не вступает в реакцию с кислотами и щелочами при комнатной температуре, что позволяет избежать загрязнения поверхности пластины.

—Термическая стабильность: сохраняет эксплуатационные характеристики при высоких температурах, подходит для высокоскоростной полировки.

—Острая форма частиц: обеспечивает эффективную режущую способность, но необходимо контролировать однородность частиц, чтобы избежать царапин.

2. Применение при полировке полупроводников

—Этап грубой полировки: используется для удаления крупных дефектов или следов обработки на поверхности пластины (например, поврежденных слоев после резки и шлифовки).

—Полировка пластин из карбида кремния (SiC): зеленый карбид кремния соответствует твердости материалов пластин из SiC, что позволяет уменьшить повреждение поверхности.

—Вспомогательное применение: используется для полировки твердых и хрупких материалов, таких как сапфировые подложки и оптическое стекло.

3. Основные требования к качеству
— распределение размеров частиц: должно быть максимально однородным (например, D50 1–5 мкм), чтобы избежать царапин, вызванных крупными частицами.

—Чистота: высокая чистота (≥99,9%) для снижения загрязнения металлическими примесями (такими как Fe, Al).

— Морфология частиц: должна быть сферической или равновеликой, чтобы уменьшить шероховатость поверхности.

—Суспензия: стабильная дисперсия в полирующей жидкости для предотвращения образования осадка.