Введение в тему «зеленого карбида кремния»:
Зеленый карбид кремния ( зеленый SiC , химическая формула SiC ) — это высокочистый синтетический кристаллический абразив, известный своей исключительной твердостью, острыми режущими кромками и превосходной химической/термической стабильностью. Это премиальный сорт среди материалов на основе карбида кремния, часто называемый «зеленым алмазом» среди промышленных абразивов.
| Свойство | Зеленый карбид кремния |
|---|---|
| Химическая формула | SiC |
| Чистота | 98,5–99,5% SiC (высокое содержание ≥99,9%) |
| твердость по шкале Мооса | 9,2–9,5 (близко к алмазу) |
| Микротвердость | 3200–3600 кг/мм² |
| Плотность | 3,22 г/см³ |
| Теплопроводность | 80–140 Вт/м·К (отличное теплоотведение) |
| Тепловое расширение | Низкий |
| Температура плавления | ~2700°C |
| Химическая стабильность | Невосприимчив к воде, кислотам, щелочам и большинству растворителей. |
| Форма частиц | Острый, угловатый, многогранный; хорошо затачивается самостоятельно. |
Преимущества зеленого карбида кремния для шлифовки кремниевых пластин
- Превосходная твердость и режущие свойства.Зеленый карбид кремния с твердостью по шкале Мооса 9,2–9,5 значительно тверже монокристаллического кремния. Он отличается острыми краями частиц и превосходной способностью к самозатачиванию, обеспечивая высокую скорость удаления материала для эффективного устранения поверхностных дефектов и поврежденных слоев на кремниевых пластинах.
- Однородный размер частиц и превосходное качество поверхности.Тщательно отсортированный мелкодисперсный порошок имеет узкое распределение частиц по размерам и низкую агломерацию. Он образует тонкие, неглубокие царапины вместо глубоких порезов, сколов или ямок, эффективно контролируя повреждения под поверхностью и гарантируя стабильные результаты притирки.
- Превосходная химическая и термическая стабильность.Обладая химической инертностью по отношению к воде, обычным шлифовальным суспензиям и кислотно-щелочным добавкам, он не вызывает коррозии кремниевых пластин. Он сохраняет стабильную твердость и форму частиц при воздействии тепла от трения, а его хорошая теплопроводность быстро рассеивает тепло, предотвращая термическую деформацию пластины.
- Высокая чистота для применения в полупроводниковой промышленности.По сравнению с черным карбидом кремния, он содержит меньше тяжелых металлов и примесей. Он не вызывает электрического загрязнения, полностью соответствуя требованиям высокой чистоты для производства полупроводниковых и фотоэлектрических пластин.
- Высокая износостойкость и экономичностьНизкий уровень абразивных потерь продлевает срок службы. Он значительно экономичнее алмазного порошка, сохраняя при этом надежную притирку, что идеально подходит для массового производства. Порошок хорошо растворяется в суспензии, снижая частоту замены жидкости.
- Умеренная прочностьСбалансированная хрупкость и прочность предотвращают чрезмерное въедание мелких частиц в поверхность пластин, упрощая последующие процессы очистки. Совместим с различными притирочными подушками и оборудованием для односторонней/двусторонней притирки, снятия фаски с кромок и других процессов.