Зеленый карбид кремния для полировки полупроводниковых подложек
Зеленый карбид кремния (SiC) — это абразивный материал высокой чистоты, широко используемый при полировке полупроводниковых подложек благодаря своей исключительной твердости (9,2–9,5 по шкале Мооса), термической стабильности и химической инертности. Вот подробное описание его роли в полировке полупроводниковых подложек: 1. Основные свойства зеленого SiC для полировки Высокая твердость : эффективен для